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STVCR4000 시리즈
STVCR4000 시리즈

주요 특징

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·Open-Loop 제어로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·자성 유체 실 및 벨로우즈 사용
·Arm 관절부에 자성 유체 실 설치

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피반송물 가반질량 반복정밀도 내진공도 모터 사양
~300mm 웨이퍼 2kg ±0.1 mm 이내 1.33X10-6Pa 스테핑 모터
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