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대기로봇

| S 시리즈

SCR3000CSN 시리즈

SCR3000CSN 시리즈

·싱글암 원통좌표형 클린 로봇
·Closed-Loop 제어로 신뢰성 향상
·Absolute Encoder로 원점 복귀 시간 단축
·배터리 불필요한 다회전 Absolute Sensor 탑재
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

STCR4000SN 시리즈

STCR4000SN 시리즈

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·Closed-Loop 제어로 신뢰성 향상
·Absolute Encoder로 원점 복귀 시간 단축
·배터리 불필요한 다회전 Absolute Sensor 탑재
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

SCR3000CS 시리즈

SCR3000CS 시리즈

·싱글암 원통좌표형 클린 로봇
·Open-Loop 제어로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·전축 2상 펄스 모터 사용
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

STCR4000S 시리즈

STCR4000S 시리즈

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·Open-Loop 제어로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·전축 2상 펄스 모터 사용
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

SSCR 시리즈

SSCR 시리즈

·싱글암 원통좌표형 클린 로봇
·Open-Loop 제어로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·전축 2상 펄스 모터 사용
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

| M 시리즈

MCR3000C 시리즈

MCR3000C 시리즈

·싱글암 원통좌표형 클린 로봇
·Absolute Encoder, 서보 모터로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

MTCR4000 시리즈

MTCR4000 시리즈

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·Absolute Encoder, 서보 모터로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

| G 시리즈

GCR4000-PM 시리즈

GCR4000-PM 시리즈

·싱글암 수평다관절형 클린 로봇
·Absolute Encoder, 스테핑 모터로 안전성 향상
·2FOUP (300mm Wafer) 대응 가능
·전축 2상 펄스 모터 사용
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 서보 모터, 등)

GTCR5000 시리즈

GTCR5000 시리즈

·트윈암 수평다관절형 클린 로봇 (싱글암 가능)
·Absolute Encoder, 서보 모터로 안전성 향상
·3FOUP (300mm Wafer) 대응 가능
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·다양한 옵션 대응(Mapping, 등)

GTVCR5000 시리즈

GTVCR5000 시리즈

·트윈암 수평다관절형 클린 로봇
·Absolute Encoder, 서보 모터로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·자성 유체 실 및 벨로우즈 사용
·Arm 관절부에 자성 유체 실 설치

GCR4280-AM 시리즈

GCR4280-AM 시리즈

·싱글암 수평다관절형 클린 로봇
·Absolute Encoder, 서보 모터로 안전성 향상
·3FOUP (300mm Wafer) 대응 가능
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

| 방수 시리즈

SWCR3000 시리즈

SWCR3000 시리즈

·싱글암 원통좌표형 클린 로봇
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·암 부분 테프론 코팅으로 내식성 확보
·암 관절부 방수 구조에 V 실 사용
·부품 접합부 Viton(불소고무) 패킹으로 밀봉

STWCR4000 시리즈

STWCR4000 시리즈

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·암 부분 테프론 코팅으로 내식성 확보
·암 관절부 방수 구조에 V 실 사용
·부품 접합부 Viton(불소고무) 패킹으로 밀봉

| 유리기판

LTHR4400C 시리즈

LTHR4400C 시리즈

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·Z축 900mm 옵션 대응
·Absolute Encoder로 원점 복귀 시간 단축
·배터리 불필요한 다회전 Absolute Sensor 탑재
·다양한 옵션 대응(Alignment, Mapping, 등)

진공로봇

| S시리즈

SVCR3000 시리즈

SVCR3000 시리즈

·싱글암 원통좌표형 클린 로봇
·Open-Loop 제어로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·자성 유체 실 및 벨로우즈 사용
·Arm 관절부에 자성 유체 실 설치

STVCR4000 시리즈

STVCR4000 시리즈

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·Open-Loop 제어로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·자성 유체 실 및 벨로우즈 사용
·Arm 관절부에 자성 유체 실 설치

SVCR330S-060-PM

SVCR330S-060-PM

·싱글암 원통좌표형 클린 로봇
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·전축 2상 펄스 모터 사용
·자성 유체 실 및 벨로우즈 사용
·Arm 관절부에 자성 유체 실 설치

얼라이너

| 엣지그립

SAL20C1

SAL20C1

·Edge Grip 방식의 Alignment 실현
·실리콘, 투명, 반투명, 등의 다양한 재질 대응
·노치, 플랫 등 여러가지 형태 대응
·마찰 등을 인한 이물질 부착을 억제
·모터, 드라이버, 컨트롤러 본체에 내장

SVAL3001 시리즈(진공)

SVAL3001 시리즈(진공)

·Edge Grip 방식의 Alignment 실현
·실리콘, 투명, 반투명, 등의 다양한 재질 대응
·노치, 플랫 등 여러가지 형태 대응
·자성 유체 실 및 벨로우즈 사용

| 진공 흡착

SAL38C3HV

SAL38C3HV

·Vacuum 방식의 Alignment 실현
·실리콘, 투명, 반투명, 등의 다양한 재질 대응
·노치, 플랫 등 여러가지 형태 및 Z축 옵션 대응
·모터, 드라이버, 컨트롤러 본체에 내장
·2가지 크기의 Wafer 대응(200mm ~ 300mm)

EFEM (SORTER SYSTEM)

| 탁상 로더 시스템

SSY-10000

SSY-10000

·2, 3Inch Wafer 대응한 탁상 로더 시스템
·Wafer 검사와 반송 부분을 일체화한 컴팩트한 시스템
·어느 위치에서도 수동으로 핸들 조작 가능
·2개의 Chuck으로 반송 시간 단축

| 소터 시스템

SORTER SYSTEM-4Port Inline

SORTER SYSTEM-4Port Inline

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇 적용
·12Inch Wafer 대응한 시스템
·Aligner에 버퍼 기능으로 교체 시간 단축
·ID 리더기로 Wafer ID 확인 가능
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

SORTER SYSTEM-150mm

SORTER SYSTEM-150mm

·싱글암 수평다관절형 클린 로봇 적용
·6Inch Wafer 대응한 시스템
·개폐검출 Sensor 신호를 받아 안전성 향상
·SAL3361 Series Aligner 적용
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

| 프로토스 이송시스템

SSY-10010

SSY-10010

·8Inch Wafer 대응한 시스템
·베르누이 Chuck을 탑재하여 박막 웨이퍼 대응
·복수 카세트 및 각 인치 사이즈에도 대응
·컨테이너 스페이서를 자동 식별

베르누이 핀셋

베르누이 핀셋

베르누이 핀셋

·사이클론 효과로 워크 흡착 없이 유지 가능
·워크 충격 완화 혹은 보유 가이드 불필요
·플랙시블 튜브 적용되어 임의 각도 조정 가능

베르누이 척

| 접촉식

베르누이 척 (접촉식)

베르누이 척 (접촉식)

·얇고 휘어짐 있는 웨이퍼 대응
·대기형 이송 로봇 시리즈에 적용
·다양한 사이즈, 두께, 휘어짐에 대응 가능
·샘플 웨이퍼로 검증 Test 지원

| 비접촉식

베르누이 척 (비접촉식)

베르누이 척 (비접촉식)

·얇고 휘어짐 있는 웨이퍼 대응
·대기형 이송 로봇 시리즈에 적용
·다양한 사이즈, 두께, 휘어짐에 대응 가능
·샘플 웨이퍼로 검증 Test 지원

GTFR

GTFR5280-320-DM Single Arm(5-Axis)

GTFR5280-320-DM Single Arm(5-Axis)

·트윈암 수평다관절형 클린 로봇
·Absolute Encoder, 서보 모터로 안전성 향상
·3FOUP (300mm Wafer) 대응 가능
·기존 제품 대비 속도 및 제한구역의 개선된 신제품

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