• Login
  • 회원가입
  • SITE MAP
  • E-MAIL
inacorp
  • 회사소개
  • 제품소개
  • 고객서비스
  • 공지사항
  • GTR
  • CKD
  • SHIBAURA MACHINE
  • JEL
  • APEX
  • MITSUBISHI
  • 원에스티
  • MAKISHINKO
  • KEB
  • 델타
  • ATG
  • SHIMPO
  • OMRON
  • NABTESCO
  • 한즈모트롤
  • 로보스타

  • 대기로봇
  • | S 시리즈
  • SCR3000CSN 시리즈

    SCR3000CSN 시리즈

    - 클로즈드 루프 제어시스템 적용 

    - 앱솔루트 엔코더 및 스테핑 모터 탑재로 인한 

      뛰어난 반송 다양성 

  • STCR4000SN 시리즈

    STCR4000SN 시리즈

    - 클로즈드 루프 제어시스템 적용 

    - 앱솔루트 엔코더 및 스테핑 모터 탑재로 인한 

      뛰어난 반송 다양성 

  • SCR3000CS 시리즈

    SCR3000CS 시리즈

    - 오픈 루프 제어 시스템 적용 

    - 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이

    - 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

  • STCR4000S 시리즈

    STCR4000S 시리즈

    - 오픈 루프 제어 시스템 적용 

    - 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이

    - 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

  • SSCR 시리즈

    SSCR 시리즈

    - 경량화로 소경 웨이퍼 반송에 적합
  • | M 시리즈
  • MCR3000C 시리즈

    MCR3000C 시리즈

    - 전 축 AC 서보모터 적용으로 고속 반송 및

      고 스루풋 반송에 적합

  • MCTR4000 시리즈

    MCTR4000 시리즈

    - 전 축 AC 서보모터 적용으로 고속 반송 및

      고 스루풋 반송에 적합

  • | G 시리즈
  • GCR4000-PM 시리즈

    GCR4000-PM 시리즈

    - 앱솔루트 엔코더, 스테핑 모터 적용 

    - 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이

    - 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

     

  • GTCR5000 시리즈

    GTCR5000 시리즈

    - 트윈 effector를 탑재하여 싱글암이면서 트윈 암   기능이 가능 

    - AC 서보모터 적용으로 고속 반송이 가능

    - 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

     

  • GTVCR5000 시리즈

    GTVCR5000 시리즈

    - 진공 환경에서 병렬 배치된 챔버, 스테이지로 반송 가능 

    - AC 서보모터 적용으로 고속반송이 가능

    - 진공 환경에서 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

      

  • GCR4280-AM 시리즈

    GCR4280-AM 시리즈

    - 클린룸 대응 가능한 시리즈
  • | 방수 시리즈
  • SWCR3000 시리즈

    SWCR3000 시리즈

    - 산/알칼리성 환경의 웨이퍼 반송 작업에 적합한 

      시리즈 

    - 300mm웨이퍼 대응 반전+ 엣지그립 기능 탑재 

  • STWCR4000 시리즈

    STWCR4000 시리즈

    - 산/알칼리성 환경의 웨이퍼 반송 작업에 적합한 

      시리즈 

    - 300mm웨이퍼 대응 반전+ 엣지그립 기능 탑재 

  • | 유리기판
  • LTHR4400C 시리즈

    LTHR4400C 시리즈

    - 유리 기판, WLP기판 등의 반송에 적합 

    - Z스트로크 760mm 이상 상하 축 다단식으로 

      저패스 라인화 가능 

  • 진공로봇
  • | S시리즈
  • SVCR3000 시리즈

    SVCR3000 시리즈

    - 진공 환경에서 300mm까지 각종 워크 반송이 가능 

    - 오픈 루프 제어 시스템 적용 

    - 스테핑 모터 적용

    - 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이

     

  • STVCR4000 시리즈

    STVCR4000 시리즈

    - 진공 환경에서 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

    - 오픈 루프 제어 시스템 적용 

    - 스테핑 모터 적용

    - 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이

     

  • SVCR3000-AM 시리즈

    SVCR3000-AM 시리즈

    - 진공 챔버내에서 트레이, 서셉터 등 중량물 반송에 사용
  • 얼라이너
  • | 엣지그립
  • SAL20C1

    SAL20C1

    - 엣지 그립 방식 적용으로 웨이퍼 접촉을 최소화한

      시리즈 

     

  • SVAL3001 시리즈(진공)

    SVAL3001 시리즈(진공)

    - 진공 환경에서 실리콘 웨이퍼, 서셉터등의 위치

      결정을 엣지그립 방식으로 구동

  • | 진공 흡착
  • SAL38C3HV

    SAL38C3HV

    - 위치 결정이 용이 하지 않은 뒤틀린 형태나 투명체등 광투과율이 다른 워크 대응 가능
  • EFEM (SORTER SYSTEM)
  • | 탁상 로더 시스템
  • SSY-10000

    SSY-10000


  • | 소터 시스템
  • SORTER SYSTEM-4Port Inline

    SORTER SYSTEM-4Port Inline


  • SOTER System-150mm

    SOTER System-150mm


  • | 프로토스 이송시스템
  • SSY-10010

    SSY-10010


  • 베르누이 핀셋
  • 베르누이 핀셋

    베르누이 핀셋


  • 베르누이 척
  • | 접촉식
  • 베르누이 척 (접촉식)

    베르누이 척 (접촉식)


  • | 비접촉식
  • 베르누이 척 (비접촉식)

    베르누이 척 (비접촉식)


  • GTFR
  • GTFR5280-320-DM Single Arm(5-Axis)

    GTFR5280-320-DM Single Arm(5-Axis)

    GTFR5280-320-DM Single Arm(5-Axis)
  • 회사소개
  • 찾아오시는 길
  • 관련 회사
  • 개인정보취급방침

본사 : 서울특별시 금천구 가산디지털1로 168, C동 812호 인아텍앤코포(주) CORP사업부
공장 : 인천광역시 남동구 남동서로 37(고잔동) 인아텍앤코포(주) TECH사업부
TEL : (02)2026-0660 | FAX : (02)2026-0661 | E-mail : inacorp@inacorp.co.kr

COPYRIGHT (C) 2019 INATECH&CORP.LTD ALL RIGHT RESERVED.