- 클로즈드 루프 제어시스템 적용 

- 앱솔루트 엔코더 및 스테핑 모터 탑재로 인한 

  뛰어난 반송 다양성 

- 클로즈드 루프 제어시스템 적용 

- 앱솔루트 엔코더 및 스테핑 모터 탑재로 인한 

  뛰어난 반송 다양성 

- 오픈 루프 제어 시스템 적용 

- 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이

- 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

- 전 축 AC 서보모터 적용으로 고속 반송 및

  고 스루풋 반송에 적합

- 전 축 AC 서보모터 적용으로 고속 반송 및

  고 스루풋 반송에 적합

- 앱솔루트 엔코더, 스테핑 모터 적용 

- 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이

- 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

- 트윈 effector를 탑재하여 싱글암이면서 트윈 암   기능이 가능 

- AC 서보모터 적용으로 고속 반송이 가능

- 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

- 진공 환경에서 병렬 배치된 챔버, 스테이지로 반송 가능 

- AC 서보모터 적용으로 고속반송이 가능

- 진공 환경에서 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

- 산/알칼리성 환경의 웨이퍼 반송 작업에 적합한 

  시리즈 

- 300mm웨이퍼 대응 반전+ 엣지그립 기능 탑재 

- 산/알칼리성 환경의 웨이퍼 반송 작업에 적합한 

  시리즈 

- 300mm웨이퍼 대응 반전+ 엣지그립 기능 탑재 

- 유리 기판, WLP기판 등의 반송에 적합 

- Z스트로크 760mm 이상 상하 축 다단식으로 

  저패스 라인화 가능 

- 진공 환경에서 300mm까지 각종 워크 반송이 가능 

- 오픈 루프 제어 시스템 적용 

- 스테핑 모터 적용

- 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이

- 진공 환경에서 300mm까지 각종 워크 반송에 적합  

- 오픈 루프 제어 시스템 적용 

- 스테핑 모터 적용

- 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이

- 엣지 그립 방식 적용으로 웨이퍼 접촉을 최소화한

  시리즈 

- 진공 환경에서 실리콘 웨이퍼, 서셉터등의 위치

  결정을 엣지그립 방식으로 구동