SCR3000CSN 시리즈
- 클로즈드 루프 제어시스템 적용
- 앱솔루트 엔코더 및 스테핑 모터 탑재로 인한
뛰어난 반송 다양성
STCR4000SN 시리즈
- 클로즈드 루프 제어시스템 적용
- 앱솔루트 엔코더 및 스테핑 모터 탑재로 인한
뛰어난 반송 다양성
SCR3000CS 시리즈
- 오픈 루프 제어 시스템 적용
- 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이
- 300mm까지 각종 워크 반송에 적합
STCR4000S 시리즈
- 오픈 루프 제어 시스템 적용
- 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이
- 300mm까지 각종 워크 반송에 적합
SSCR 시리즈
- 경량화로 소경 웨이퍼 반송에 적합GCR4000-PM 시리즈
- 앱솔루트 엔코더, 스테핑 모터 적용
- 표준 타입으로 커스터마이즈가 용이
- 300mm까지 각종 워크 반송에 적합
GTCR5000 시리즈
- 트윈 effector를 탑재하여 싱글암이면서 트윈 암 기능이 가능
- AC 서보모터 적용으로 고속 반송이 가능
- 300mm까지 각종 워크 반송에 적합
GTVCR5000 시리즈
- 진공 환경에서 병렬 배치된 챔버, 스테이지로 반송 가능
- AC 서보모터 적용으로 고속반송이 가능
- 진공 환경에서 300mm까지 각종 워크 반송에 적합
GCR4280-AM 시리즈
- 클린룸 대응 가능한 시리즈