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베르누이 척 (비접촉식)
베르누이 척 (비접촉식)

주요 특징

·얇고 휘어짐 있는 웨이퍼 대응
·대기형 이송 로봇 시리즈에 적용
·다양한 사이즈, 두께, 휘어짐에 대응 가능
·샘플 웨이퍼로 검증 Test 지원

다운로드 견적·상담
재질 표면처리 웨이퍼유지 유틸리티
알루미늄 흑색 아르마이트 사이클론 패드에 의한 흡입과 가이드(PEEK)에 의한 엣지 보관 유지
(접촉부 재질은 각 종류의 제작 가능)		 30~80 L/min(워크 사이즈, 두께에 따라 다릅니다)
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