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GTFR5280-320-DM Single Arm(5-Axis)
GTFR5280-320-DM Single Arm(5-Axis)

주요 특징

·트윈암 수평다관절형 클린 로봇
·Absolute Encoder, 서보 모터로 안전성 향상
·3FOUP (300mm Wafer) 대응 가능
·기존 제품 대비 속도 및 제한구역의 개선된 신제품

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피반송물 가반질량 반복정밀도 클린도 모터 사양
~300mm 웨이퍼 4kg ±0.05 mm 이내 ISO 클래스1 서보 모터