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SAL20C1
SAL20C1

주요 특징

·Edge Grip 방식의 Alignment 실현
·실리콘, 투명, 반투명, 등의 다양한 재질 대응
·노치, 플랫 등 여러가지 형태 대응
·마찰 등을 인한 이물질 부착을 억제
·모터, 드라이버, 컨트롤러 본체에 내장

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피반송물 위치결정시간 위치결정정도 클린도
~300mm 웨이퍼 센터링 : 2.5 sec 센터링 : ±0.3 mm 이내
노치위치 : ±0.3˚ 이내		 0.1μm/cf Class 1
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