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SVAL3001 시리즈(진공)
SVAL3001 시리즈(진공)

주요 특징

·Edge Grip 방식의 Alignment 실현
·실리콘, 투명, 반투명, 등의 다양한 재질 대응
·노치, 플랫 등 여러가지 형태 대응
·자성 유체 실 및 벨로우즈 사용

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피반송물 위치결정시간 위치결정정도 내진공도
100 ~300mm 웨이퍼 센터링 : 4 sec 센터링 : ±0.3 mm 이내
노치위치 : ±0.3˚ 이내		 1.33X10-6Pa
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