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SSY-10000
SSY-10000

주요 특징

·2, 3Inch Wafer 대응한 탁상 로더 시스템
·Wafer 검사와 반송 부분을 일체화한 컴팩트한 시스템
·어느 위치에서도 수동으로 핸들 조작 가능
·2개의 Chuck으로 반송 시간 단축

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피반송물 가반질량 반복정밀도 클린도 모터 사양
~ 100mm 웨이퍼 0.1kg ±0.1 mm 이내 ISO 클래스2 스테핑 모터
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