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SORTER SYSTEM-4Port Inline
SORTER SYSTEM-4Port Inline

주요 특징

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇 적용
·12Inch Wafer 대응한 시스템
·Aligner에 버퍼 기능으로 교체 시간 단축
·ID 리더기로 Wafer ID 확인 가능
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

다운로드 견적·상담
피반송물 처리량 클린도 외형치수 질량
300mm 실리콘 웨이퍼(두께 775μm) 300 장/h ISO Class 2 (FFU 탑재) W 1250mm x D 2500mm x H 1900mm 약 800kg
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