취급 브랜드
inacorp
close_icon
로그인 회원가입 사이트맵

홈 > JEL > EFEM (SORTER SYSTEM) > SORTER SYSTEM-150mm

SORTER SYSTEM-150mm
SORTER SYSTEM-150mm

주요 특징

·싱글암 수평다관절형 클린 로봇 적용
·6Inch Wafer 대응한 시스템
·개폐검출 Sensor 신호를 받아 안전성 향상
·SAL3361 Series Aligner 적용
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

다운로드 견적·상담
피반송물 처리량 웨이퍼유지 클린도 질량
150mm웨이퍼（글라스, 사파이어, GaAs） 140장/h (장비쪽의 처리 시간은 포함하지 않음) 진공흡착 ISO Class2(ISO14644) 약350kg
비슷한 제품
SSY-10000

SSY-10000
SSY-10010

SSY-10010
SORTER SYSTEM-4Port Inline

SORTER SYSTEM-4Port Inline