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SSY-10010
SSY-10010

주요 특징

·8Inch Wafer 대응한 시스템
·베르누이 Chuck을 탑재하여 박막 웨이퍼 대응
·복수 카세트 및 각 인치 사이즈에도 대응
·컨테이너 스페이서를 자동 식별

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피반송물 대응카세트 외형치수 클린도 질량
200mm 실리콘 웨이퍼, 200mm 스페이서 200mm 카세트, 200mm 웨이퍼 컨테이너 1100 (W) x 980 (D) x 1805 (H) ISO 클래스2 (구동부 배기시) 600 kg
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