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STCR4000SN 시리즈
STCR4000SN 시리즈

주요 특징

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·Closed-Loop 제어로 신뢰성 향상
·Absolute Encoder로 원점 복귀 시간 단축
·배터리 불필요한 다회전 Absolute Sensor 탑재
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

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피반송물 가반질량 반복정밀도 클린도 모터 사양
~300mm 웨이퍼 3kg ±0.1 mm 이내 ISO 클래스2 스테핑 모터
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