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GTCR5000 시리즈
GTCR5000 시리즈

주요 특징

·트윈암 수평다관절형 클린 로봇 (싱글암 가능)
·Absolute Encoder, 서보 모터로 안전성 향상
·3FOUP (300mm Wafer) 대응 가능
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·다양한 옵션 대응(Mapping, 등)

다운로드 견적·상담
피반송물 가반질량 반복정밀도 클린도 모터 사양
~300mm 웨이퍼 4kg ±0.1 mm 이내 ISO 클래스2 서보 모터
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