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LTHR4400C 시리즈
LTHR4400C 시리즈

주요 특징

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·Z축 900mm 옵션 대응
·Absolute Encoder로 원점 복귀 시간 단축
·배터리 불필요한 다회전 Absolute Sensor 탑재
·다양한 옵션 대응(Alignment, Mapping, 등)

피반송물 가반질량 반복정밀도 클린도 모터 사양
웨이퍼 15kg ±0.2 mm 이내 0.3μm Class10 서보 모터