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GTVCR5000 시리즈
GTVCR5000 시리즈

주요 특징

·트윈암 수평다관절형 클린 로봇
·Absolute Encoder, 서보 모터로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·자성 유체 실 및 벨로우즈 사용
·Arm 관절부에 자성 유체 실 설치

다운로드 견적·상담
피반송물 가반질량 반복정밀도 내진공도 모터 사양
~300mm 웨이퍼 4kg ±0.1 mm 이내 1.33X10-6Pa 서보 모터
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