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STCR4000S 시리즈
STCR4000S 시리즈

주요 특징

·트윈암 원통좌표형 클린 로봇
·Open-Loop 제어로 안전성 향상
·S자 가감속 제어로 고정밀도 반송 가능
·전축 2상 펄스 모터 사용
·다양한 옵션 대응(Flip, Mapping, 등)

다운로드 견적·상담
피반송물 가반질량 반복정밀도 클린도 모터 사양
~300mm 웨이퍼 3kg ±0.1 mm 이내 ISO 클래스2 스테핑 모터
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